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氣動波紋管泵的特點是什么

時間:2023/5/8閱讀:378
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FLP系列的特點

  • 低脈動

  • 驅(qū)動機構(gòu)將波紋管的運動控制到消除泵脈動的最佳相位,。實現(xiàn)極低脈動運行。( PAT,。)

  • 適用于單晶圓工藝的出色負載跟隨性

  • 通過進行相位控制,,提高了負載變動時的跟蹤性能。特別是在單晶圓工藝等壓力波動頻繁的生產(chǎn)線中,,其高負載跟隨性可實現(xiàn)吐出量和吐出壓力的穩(wěn)定運行,。

  • 無需阻尼器,節(jié)省空間

  • 由于不需要安裝阻尼器,因此可以節(jié)省設備空間,。配管作業(yè)簡單,,可減少氟樹脂接頭等昂貴的配管材料,有助于實現(xiàn)設備的小型輕量化,。

  • 安全設計

  • 波紋管焊接結(jié)構(gòu),,防止漏液,即使波紋管破損,,采用漏液傳感器檢測漏液情況


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