目前塵埃粒子計(jì)數(shù)器的用戶越來越多,，廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥,、電子、精密機(jī)械,、彩管制造,、微電子等行業(yè)中，實(shí)現(xiàn)對各種潔凈等級的工作臺,、凈化室,、凈化車間的凈化效果、潔凈級別進(jìn)行監(jiān)控,，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量,。
一、塵埃粒子計(jì)數(shù)器的注意事項(xiàng)
1. 當(dāng)入口管被蓋住或被堵塞,，不要啟動計(jì)數(shù)器,；
2. 不要測有可能產(chǎn)生反應(yīng)的混合氣體（如氫氣和氧氣）,。這些氣體可能在計(jì)數(shù)器內(nèi)產(chǎn)生爆炸。測這些氣體需與廠家取得更多的信息,；
3. 沒有高壓減壓設(shè)備（如高壓擴(kuò)散器）不要取樣壓縮空氣,，所有的粒子計(jì)數(shù)器被設(shè)計(jì)用于在一個大氣壓下操作；
4. 水,、溶液或其它液體都不能從入口管進(jìn)入傳感器,；
5. 塵埃粒子計(jì)數(shù)器主要用來測試凈化車間干凈的環(huán)境，當(dāng)測的地方有松散顆粒的材質(zhì),、灰塵源,、噴霧處時，須至少保持距進(jìn)口管十二英寸遠(yuǎn),。以免以上的顆粒及液體污染傳感器及 管路,；
6. 取樣時，避免取樣從計(jì)數(shù)器本身排出來的或被計(jì)數(shù)器出來的氣體所污染的氣體,；
7. 當(dāng)有打印機(jī)時,，連接外置打印機(jī)時，需先關(guān)掉計(jì)數(shù)器,，當(dāng)執(zhí)行打印操作時,，打印機(jī)上須有打印紙，否則會損傷打印頭,；
8. 靈敏度在0.1μm的顆粒計(jì)數(shù)器,，如沒有特別的預(yù)防，不能用于測大于1000級的凈化車間,，以免對其傳感器損傷,。
二、塵埃粒子計(jì)數(shù)器的原理,、應(yīng)用及組成
塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用來測量空氣中微粒的數(shù)量及大小的儀器,，從而為空氣潔凈的評定提供依據(jù)。常見的塵埃粒子計(jì)數(shù)器是光散射式的,，測量粒徑范圍0.1-10.0μm,，此外還有凝聚核式的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，可測量尺寸更小的塵埃粒子,。
1,、塵埃粒子計(jì)數(shù)器的工作原理
空氣中的微粒在光的照射下會發(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射,。光散射和微粒大小,、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān),。但是就散射光強(qiáng)度和微粒大小而言,，有一個基本規(guī)律,，就是微粒散射光的強(qiáng)度隨微粒的表面積增加而增大,。這樣只要測定散射光的強(qiáng)度就可推知微粒的大小,，就是光散射式粒子計(jì)數(shù)器的基本原理。
實(shí)際上,，每個粒子產(chǎn)生的散射光強(qiáng)度很弱,，是一個很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用,，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖,，然后再經(jīng)過電子線路的進(jìn)一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計(jì)數(shù)工作,。此時,，電脈沖數(shù)量對應(yīng)于微粒的個數(shù)，電脈沖的幅度對應(yīng)于微粒的大小,。
2,、塵埃粒子計(jì)數(shù)器的組成及各部分功能
(1)光源
光源是塵埃粒子計(jì)數(shù)器的關(guān)鍵部件，對儀器的性能影響很大,。光源要求穩(wěn)定性高,、壽命長、不受干擾,。
光源有普通光源和激光光源兩種,。普通光源為碘鎢燈，體積大,、發(fā)熱量高,、壽命短，開機(jī)后需要預(yù)熱,。激光光源為激光器,，體積小、穩(wěn)定性高,、壽命長,，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器,。常見的激光光源有HeNe激光器,、激光二極管。
采用普通光源的塵埃粒子計(jì)數(shù)器對0.3μm以下的微粒信號響應(yīng)很低,，其信號幅度與計(jì)數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾,，信號很難從噪聲中檢測出來。此類儀器雖然標(biāo)有0.3μm這一通道,，但只適于測定大于0.3μm,，特別是0.5μm以上的微粒,。
由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)定,，所以采用激光光源的塵埃粒子計(jì)數(shù)器其傳感器有較高的信噪比,，此類儀器有些能檢測到0.1μm的微粒。
(2)測量腔
測量腔是進(jìn)行微粒觀測的空間,，被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過,。儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中,，形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區(qū),。當(dāng)空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時，會散射出一部分光能量,，被與入射光成一角度（90度或70度）的集光透鏡收集,，再投射到光檢測器上。
(3)光檢測器
光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件,。塵埃粒子計(jì)數(shù)器中常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管,。
光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，具有光譜線性好,、響應(yīng)時間快,、暗電流小的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是體積大,。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負(fù)高壓,，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進(jìn)行調(diào)試或校準(zhǔn)時應(yīng)注意安全,。
光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件,，具有體積小、外圍電路簡單的特點(diǎn),，常與檢測腔做成一體,。
(4)流量監(jiān)控
塵埃粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min，進(jìn)口儀器常標(biāo)識為0.1cfm(立方英尺每分鐘)或1cfm,，主要是為了便于進(jìn)行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計(jì)算,。
(5)氣泵及過濾器
氣泵位于儀器內(nèi)部，使儀器產(chǎn)生采樣流量,。氣泵要求噪音低,、振動小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定,。過濾器應(yīng)能過濾掉0.3μm以上的微粒,，以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。
(6)電路系統(tǒng)
不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后，會產(chǎn)生不同幅度（電壓）的電脈沖信號,，粒徑越大,，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關(guān)系,，也叫轉(zhuǎn)換靈敏度,。對于給定的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應(yīng)的,，例如某臺塵埃粒子計(jì)數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度為0.3μm對應(yīng)69mv,，0.5μm對應(yīng)531mv,，1.0μm對應(yīng)701mv等,，若塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測到一個脈沖為100mv，則這個粒子的大小肯定大于0.3μm而小于0.5μm,。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器是測量大于等于某一粒徑的粒子數(shù)量的儀器,，其內(nèi)部電路就是統(tǒng)計(jì)大于等于某一電壓值的脈沖數(shù)量的電路。對于上段中的例子,，測量空氣中大于等于0.3μm粒子的數(shù)量,，在電路中就是統(tǒng)計(jì)大于等于69mv的脈沖的個數(shù)，測量大于等于0.5μm粒子的數(shù)量,，在電路中就是統(tǒng)計(jì)大于等于531mv的脈沖的個數(shù),，依此類推。所以儀器對塵埃粒子的測量,，主要靠轉(zhuǎn)換靈敏度這個參數(shù),。
另外需要說明的是，每臺塵埃粒子計(jì)數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度均不同,，在出廠時及以后須定期用標(biāo)準(zhǔn)粒子進(jìn)行校準(zhǔn),，以獲得最佳轉(zhuǎn)換靈敏度值。
電路系統(tǒng)就是完成對脈沖信號的放大,、甄別,、計(jì)數(shù)的電路。此外還包括電源,、控制,、顯示、計(jì)算,、打印等電路,。
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