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掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）,簡稱掃描電鏡,，是功能強,、用途廣的材料表征工具，已廣泛應用于材料,，冶金,，礦物，生物學等領(lǐng)域,。掃描電子顯微鏡主要由五大系統(tǒng)組成,，即電子光學系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng),、樣品室,、真空系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng),。

1 電子光學系統(tǒng)

由電子槍,，電磁透鏡,，掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,，作為信號的激發(fā)源,。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑,。

2 信號收集及顯示系統(tǒng)

檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。現(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器,，它由閃爍體,，光導管和光電倍增器所組成。

3 樣品室

主要部件是樣品臺,。它能夾持一定尺寸的樣品,，并能使樣品進行三維空間的移動，還能傾斜和轉(zhuǎn)動,以利于對樣品上每一特定位置進行各種分析,。

4 真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學系統(tǒng)正常工作,，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度,。

5 電源系統(tǒng)

電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓,，穩(wěn)流及相應的安全保護電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源,。