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常見故障現(xiàn)象及處理方法系列一：質(zhì)譜無法正常開機(jī)

質(zhì)譜長期未使用、異常關(guān)機(jī)后可能會出現(xiàn)無法正常開機(jī)情況,，下面我們介紹一些質(zhì)譜無法正常開機(jī)后的處理方法。

一,、質(zhì)譜開機(jī)步驟及易故障現(xiàn)象

1,、檢查氣體壓力是否正常（參考下圖）,。

若壓力異常,，調(diào)節(jié)相應(yīng)閥門使之達(dá)到正常壓力,。

若出現(xiàn)無壓力或調(diào)節(jié)閥門無效情況,，請及時聯(lián)系工程師檢修氮?dú)獍l(fā)生器或檢修氣路。

2,、檢查機(jī)械泵油量,，如需要,，請及時更換泵油（請參考：機(jī)械泵維護(hù)指南。（超鏈接）

）,，打開機(jī)械泵,。

若機(jī)械泵無法開機(jī)或出現(xiàn)異響,，請及時聯(lián)系工程師檢修。

3,、約30min后打開質(zhì)譜主機(jī)電源,，質(zhì)譜指示燈點(diǎn)亮，并在常亮之后開始閃爍,。

若指示燈無法點(diǎn)亮，檢查電源線是否松動,。若無松動,，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4,、進(jìn)入Analyst軟件,，激活質(zhì)譜并打開質(zhì)譜狀態(tài)圖標(biāo)，查看儀器狀態(tài),。

4.1以API 4000為例,。

（1）,、觀察Backing Pump Status，Enabled表示機(jī)械泵正常運(yùn)轉(zhuǎn),。

若出現(xiàn)Disabled,，請及時聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵,。

（2）、觀察Analyzer Turbo Pump,，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal,。

若一直處于Accelerating或者OFF，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜,。

（3）、觀察Interface Turbo Pump,，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal,。

若一直處于Accelerating或者OFF，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜,。

（4）、觀察Vacuum Gauge,，由初始OFF,，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達(dá)到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數(shù),。

若一直處于OFF，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜,。

注：質(zhì)譜狀態(tài)及其含義,，請參考邁斯培訓(xùn)系列五：質(zhì)譜報錯怎么辦？軟件死機(jī)了怎么辦,？（超鏈接）

（5）抽真空過夜，觀察Vacuum Gauge,，達(dá)到要求真空度,，質(zhì)譜圖標(biāo)變?yōu)辄S色,，開機(jī)正常。

若無法達(dá)到要求真空度或質(zhì)譜圖標(biāo)變紅,，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜,。

4.2 以Triple Quad 5500為例。

（1）,、觀察Backing Pump Status，Enabled表示機(jī)械泵正常運(yùn)轉(zhuǎn),。

若出現(xiàn)Disabled,，請及時聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵。

（2）,、觀察Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal,。

若一直處于Accelerating或者OFF,，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（3）、觀察Vacuum Gauge,，由初始OFF狀,，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達(dá)到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數(shù),。

若一直處于OFF,，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜,。

（4）抽真空過夜，觀察Vacuum Gauge,，達(dá)到要求真空度,，質(zhì)譜圖標(biāo)變?yōu)辄S色，開機(jī)正常,。

若無法達(dá)到要求真空度或質(zhì)譜圖標(biāo)變紅，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜,。

注：待機(jī)狀態(tài)（CAD=0）真空范圍參考

二,、質(zhì)譜異常關(guān)機(jī)故障排查

質(zhì)譜在運(yùn)行過程中突然關(guān)機(jī)。

1,、檢查氣體壓力是否正常,。若壓力異常,，調(diào)節(jié)相應(yīng)閥門使之達(dá)到正常壓力,。

若出現(xiàn)無壓力或調(diào)節(jié)閥門無效情況,，請及時聯(lián)系工程師檢修氮?dú)獍l(fā)生器或檢修氣路。

2,、檢查機(jī)械泵是否正常運(yùn)轉(zhuǎn),。

若機(jī)械泵無法運(yùn)轉(zhuǎn)，請及時聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵,。

3,、觸摸分子泵外殼溫度是否正常。

若分子泵溫度異常高,，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4,、嘗試開機(jī),，觀察分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)時聲音是否正常。

若分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)時有異常噪音,，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜,。

5,、若無法正常開機(jī),，請查看event log并聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜,。

請參考邁斯翔禾培訓(xùn)系列二：如何查看和保存 Event Log（超鏈接）

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