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FETS-2000是一款擴(kuò)展靈活的變溫鐵電測(cè)試系統(tǒng),，也是一款可替代德國aixACCT公司生產(chǎn)的TF Analyzer 2000鐵電分析儀的國產(chǎn)鐵電材料性能測(cè)試設(shè)備，可廣泛地應(yīng)用于如各種鐵電/壓電/熱釋電薄膜、厚膜,、體材料和電子陶瓷,、鐵電傳感器/執(zhí)行器/存儲(chǔ)器等領(lǐng)域的研究。

  鐵電參數(shù)測(cè)試主要性能指標(biāo)：

  a. 外接5 kV高壓放大器（可擴(kuò)展至10 kV）（國產(chǎn),、進(jìn)口均適用）,；

  b. 動(dòng)態(tài)電滯回線測(cè)試頻率范圍0.01 Hz ～ 5 kHz；

  c. 最大電荷解析度：10 mC（可擴(kuò)展）

  d. 疲勞測(cè)試頻率300 kHz（振幅10 Vpp,，負(fù)載電容1 nF）,；

  e. 漏電流測(cè)量范圍 1 pA ～ 20 mA（可擴(kuò)展），分辨率0.1 pA,；

  f. 配有高壓擊穿保護(hù)模塊,。

  g.溫度范圍：-160℃～260℃

  本測(cè)試系統(tǒng)由主控器、高壓放大器,、變溫綜合測(cè)試平臺(tái)（配鐵電測(cè)試盒）或高低溫探針臺(tái)（配高壓探針）,、計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發(fā)生器,、內(nèi)置驅(qū)動(dòng)電壓,、電荷積分器、可編程放大器,、模數(shù)轉(zhuǎn)換器,、通訊總線等功能，主控器提供擴(kuò)展外置高壓放大器接口,，可擴(kuò)展±5 kV或±10 kV的高壓放大器,。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能，測(cè)試時(shí),，無需改變測(cè)試樣品的連接,，即可實(shí)現(xiàn)滯回，脈沖,，漏電,，IV等性能測(cè)試。

  本測(cè)試系統(tǒng)鐵電性能測(cè)試采用基于虛地模式的測(cè)量方法,，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比,，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響,。此電路的測(cè)試精度僅取決于積分器積分電容的精度,，減少了對(duì)測(cè)試的影響環(huán)節(jié)，容易定標(biāo)和校準(zhǔn),，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測(cè)量準(zhǔn)確度,。

  變溫鐵電測(cè)試系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),，不同的模塊對(duì)應(yīng)不同的電特性測(cè)量。測(cè)量功能如下,，可按需選擇：

    動(dòng)態(tài)電滯回線DHM

  靜態(tài)電滯回線SHM

  I-V特性

  脈沖PUND

  疲勞Fatigue

  電擊穿強(qiáng)度BDM    

  漏電流LM

  電流-偏壓

  保持力RM

  印跡印痕IM

  變溫測(cè)試THM

  可選的模塊：

  POM 模塊實(shí)現(xiàn)極化測(cè)量功能

  CVM模塊實(shí)現(xiàn)小信號(hào)電容測(cè)試,，獲得C-V曲線

  PZM模塊實(shí)現(xiàn)壓電特性測(cè)試

  DPM模塊測(cè)試介電性能

  RTM模塊測(cè)試電阻/電阻率性能

  CCDM模塊實(shí)現(xiàn)電容充放電測(cè)試