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精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)的主要應(yīng)用

閱讀:842        發(fā)布時(shí)間:2023-11-11

精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)能夠滿足精密負(fù)載對(duì)振動(dòng)隔離需求,,上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁SUS430不銹鋼,,臺(tái)面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu),內(nèi)核密度大幅度提高,,具有優(yōu)秀的硬重比和剛性,,同時(shí)保證了較低的固有頻率,具備行業(yè)較高的隔振效果,。上臺(tái)面采用精密磨削工藝,,平面度可達(dá)≤0.05mm/㎡,,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,,達(dá)到無反射,、啞光效果,面板具有M6陣列螺孔,,易于固定光學(xué)元件,。氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結(jié)構(gòu)),半膜片式空氣彈簧,,采用進(jìn)口三水平調(diào)節(jié)閥技術(shù),,反應(yīng)靈敏,響應(yīng)迅速,,在超載偏重的實(shí)驗(yàn)條件下,,能瞬間恢復(fù)初始的平衡狀態(tài)。支撐腿內(nèi)部為二級(jí)氣室結(jié)構(gòu),,氣室間帶有阻尼孔,,氣動(dòng)元件全部采用德國(guó)FESTO產(chǎn)品,標(biāo)配優(yōu)質(zhì)大功率壓縮機(jī),,整體結(jié)構(gòu)保證平臺(tái)有較高的穩(wěn)定性,。

應(yīng)用:
顯微鏡系統(tǒng)、激光測(cè)試,、光學(xué)制造,、光電儀器研發(fā)與測(cè)試、生物醫(yī)療,、精密機(jī)械制造,、精密化工和無損檢測(cè)、集成電子電路,、拉曼光譜實(shí)驗(yàn),、精密檢測(cè)校準(zhǔn)、對(duì)振動(dòng)要求高的儀器設(shè)備,。
中心為蜂窩/井字鋼支撐結(jié)構(gòu),,底板為碳鋼,在保證隔振性能得同時(shí),,提高了剛性,、穩(wěn)定性,臺(tái)面精磨,;
氣浮支架采用囊式空氣彈簧,,每個(gè)支撐腿配備由單獨(dú)氣室;
采用整體焊接四支撐結(jié)構(gòu),,下方為阻尼隔振墊,,隔振性能好,;
氣浮支架底部帶有高度調(diào)節(jié)功能,可以解決地面不平引起的支架扭曲,、變形等情況,;
采用原裝德國(guó)FESTO空氣伺服系統(tǒng), 自動(dòng)調(diào)整水平,;瞬間達(dá)到初始的平衡狀態(tài),提高光學(xué)隔振平臺(tái)的隔振效果,。


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