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詳細(xì)介紹
賽默飛已設(shè)計生產(chǎn)了特定大小的微粒用來校準(zhǔn)用于半導(dǎo)體工業(yè)的掃描表面監(jiān)測系統(tǒng)(SISS),。
通過與儀器生產(chǎn)商合作,，研發(fā)生產(chǎn)出Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干)系列產(chǎn)品以滿足SEMI 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)則要求?？商峁┑奈⒘３叽绨ò雽?dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖 (ITRS)1定義的關(guān)鍵的尺寸節(jié)點的大小,。
使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干)，粒度標(biāo)準(zhǔn)簡化校準(zhǔn)晶片的制備,，用于掃描表面檢測系統(tǒng)（SSIS）的校準(zhǔn)和維護(hù),?？捎玫牧綄?yīng)于儀器制造商要求的校準(zhǔn)點尺寸,。
特點：
- Surf-Cal標(biāo)準(zhǔn)品可用來簡化您工廠內(nèi)校準(zhǔn)晶片的準(zhǔn)備工作?？商峁┑奈⒘３叽缗c儀器生產(chǎn)商要求的校準(zhǔn)點大小*,。
- 將 Surf-Cal 系列 NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置于特別選定的晶片上，您就可以執(zhí)行定期校準(zhǔn)檢查,，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進(jìn)行對比,。
- 您也可以在生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵階段對SSIS 系統(tǒng)進(jìn)行性能評估。
- 這一系列標(biāo)準(zhǔn)品懸浮于去離子過濾水中,，以終濃度3×10 8個微粒/ mL,、50ml瓶裝的規(guī)格包裝。PD1100 系列產(chǎn)品以及更小的微粒也提供濃度為10 10微粒/mL 的規(guī)格,，主要用于微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術(shù)輔助的領(lǐng)域,。
測量方法：
為了確保能直接溯源至NIST，這些產(chǎn)品獲得認(rèn)證的直徑是通過投射電子顯微鏡,，或光學(xué)顯微鏡由NIST標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)2轉(zhuǎn)移而得的,。不確定度是根據(jù)NIST技術(shù)注釋1297, 1994版―評估與表達(dá)NIST測定結(jié)果不確定度的導(dǎo)則3計算而得。認(rèn)證證書中標(biāo)明的不確定度值是采用覆蓋因子2(K=2)擴(kuò)展后的不確定度。
峰值直徑是采用微粒尺寸分布±2s的范圍計算而得,。計算的尺寸分布作為峰值的標(biāo)準(zhǔn)偏移圖,。變異系數(shù)是指一個標(biāo)準(zhǔn)差與峰值直徑的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占據(jù)峰值直徑的百分比計算而得的,。
1. ―半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖 (ITRS)‖, 半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會 (1999)
2. S.D. Duke 與 E.B. Layendecker, ―采用電子顯微鏡進(jìn)行亞微球粒子的尺寸校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)方法‖, 精密粒子協(xié)會 (1988)
3. Barry N. Taylor 與Chris E. Kuyatt, ―評估與表達(dá)NIST測定結(jié)果不確定度的導(dǎo)則‖.NIST 技術(shù)注釋 1297, 1994 版, 9月,，1994.
技術(shù)參數(shù)
成分：聚苯乙烯
密度：1.05g/cm3
折射指數(shù)：1.59@589nm(25°C)
添加劑：無
標(biāo)稱直徑 | 瓶裝規(guī)格 | 大約數(shù)量/g | 貨號 |
均一的 PS-DVB 干微球 – 光學(xué)顯微鏡校準(zhǔn) | |||
5 μm | 1g | 1.4 x 1010 | DC-05 |
6 μm | 1g | 8.4 x 1010 | DC-06 |
7 μm | 1g | 5.5 x 109 | DC-07 |
8 μm | 1g | 4.3 x 109 | DC-08 |
10 μm | 1g | 1.8 x 109 | DC-10 |
15 μm | 1g | 4.3 x 108 | DC-15 |
20 μm | 1g | 2.3 x 108 | DC-20 |
25 μm | 1g | 1.1 x 108 | DC-25 |
50 μm | 1g | 1.4 x 107 | DC-50 |
70 μm | 1g | 5.7 x 106 | DC-70 |
100 μm | 1g | 2.0 x 106 | DC-100 |
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