技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹：

該設(shè)備由真空室,、真空機組和電氣系統(tǒng)組成

1. 真空室

圓形形腔體,，側(cè)部抽氣，正面開門,。不銹鋼材質(zhì),，配 DN60 觀察窗（含防污擋板）、預(yù)抽接口,、充氣接口,； 內(nèi)部有底板、蒸發(fā)源等,；

2. 真空系統(tǒng)及進(jìn)氣

采用 110L 分子泵+4L 旋片式機械泵,。采用真空波紋管連接，配有復(fù)合式數(shù)顯真空測量儀表,。

3. 電氣系統(tǒng)

電氣系統(tǒng)包括真空機組控制,、蒸發(fā)與烘烤控制、真空測量控制等部分組成,。有安全互鎖機構(gòu),，有效防止誤操作發(fā)生,。系統(tǒng)配有 1 套蒸發(fā)電源，數(shù)顯,。

4. 膜厚測量裝置：采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套（選配）,。