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晶圓烘箱外觀結(jié)構(gòu)：

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪,、打磨,、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,，工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿焊,、耐高溫密封處理

★工作室內(nèi)百級,，采用進(jìn)口 H14耐高溫高效過濾器，過濾率0.3μm粒子99.995％以上

★隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,，表面溫度＜45℃

★門框密封采用無氟硅橡膠密封條,，耐高溫，抗老化

★隔板可調(diào)整高度及增減數(shù)量

晶圓烘箱風(fēng)路系統(tǒng)：

★采用密封內(nèi)循環(huán)風(fēng)路,，減少氮氣消耗

★采用倒U型風(fēng)道結(jié)構(gòu)設(shè)計,，箱內(nèi)兩側(cè)單向水平送風(fēng)，風(fēng)道倉內(nèi)強壓送風(fēng)

★特殊可調(diào)導(dǎo)風(fēng)板設(shè)計,，保障工作室內(nèi)送風(fēng)均勻

★大功率三相異步耐高溫長軸馬達(dá),，不銹鋼渦輪扇葉（出廠動平衡調(diào)整）結(jié)合不銹鋼蝸牛殼結(jié)構(gòu)結(jié)合兩側(cè)不銹鋼沖孔風(fēng)板，風(fēng)力強勁,，送風(fēng)均勻,，平穩(wěn)，工作噪音<65dB

溫控系統(tǒng)：

★不銹鋼無塵加熱器,，潔凈無塵

★PLC+7寸彩色觸摸屏,，HMI人機交互系統(tǒng)，中文操作界面,，全自動程序運行模式,， PID智能演算，自動恒溫,，超溫保護(hù),，傳感器斷線保護(hù)，斷電記憶功能,，帶氧含量,、溫度值，工作狀態(tài)（排氧,、維持,、加熱、電磁閥,、及故障等）監(jiān)控界面,、程序設(shè)定界面、歷史曲線界面,、歷史數(shù)據(jù)功能,，可通過USB導(dǎo)出數(shù)據(jù)，搭配PC端溫度數(shù)據(jù)處理軟件

★采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊,，控溫精度0.1級,，自動恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫,，帶傳感器斷線警報,，AT自整定，超溫控制,，斷電記憶功能,，控溫準(zhǔn)，穩(wěn)定性好

★高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統(tǒng)：

★按鍵鎖

★超溫保護(hù)

★電流過載保護(hù)

★漏電保護(hù)

★接地保護(hù)

規(guī)格參數(shù)：