![9B3A%OQ8BC`}}W94]P%FWZ0.png](https://img44.chem17.com/9/20231020/638333919562372851202.png "9B3A%OQ8BC`}}W94]P%FWZ0.png")
對(duì)于大部分光刻膠與Si襯底而言,，其粘附性一般都是不錯(cuò)的,，但是在光刻中,，通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石,、氮化鎵,、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,，這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,，這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋"甚至是漂膠等問(wèn)題,。因此必須通過(guò)工藝手段改善，這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏,。
以石英,、玻璃或硅表面的氧化物（自然氧化）的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的下濕度足夠長(zhǎng)時(shí)間后在其表面形成極性O(shè)H鍵。這種襯底是親水性的,，因此對(duì)光刻膠的非極性或低極性樹(shù)脂分子具有較差的親和力,。為了使這樣的襯底表面具有疏水性，可以用化學(xué)方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上,。
HMDS與Si原子在無(wú)氧表面結(jié)合,，與氧化基表面的氧原子(如有必要，OH基團(tuán)分解)結(jié)合,，釋放出氨,。非極性甲基直接隔離襯底表面形成疏水表面，與光刻膠具有良好的潤(rùn)濕性和附著力,。
工作原理：
在室溫下,，HMDS蒸汽通過(guò)干燥的氮?dú)庠凇捌鹋萜?中運(yùn)輸，然后傳遞到加熱的(75-120°C)基質(zhì)中,，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合,。
如果液體的HMDS被直接旋涂在襯底上，HMDS層只能起到物理上的粘附層的作用,，并不能改善粘附性,；其次，HMDS層在前烘過(guò)程中釋放出氨,，從襯底附近的進(jìn)入交聯(lián)的光刻膠層中,，從而抑制顯影過(guò)程。
產(chǎn)品特性：
外觀結(jié)構(gòu)：
★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪,、打磨,、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,，工作室采用SUS316#潔凈不銹鋼板滿焊,、耐高溫密封處理，加強(qiáng)型結(jié)構(gòu),，確保箱體高壓無(wú)形變,。
★工作室高氣密性，氣體泄漏量可達(dá)100pa/h,。
★雙層防爆鋼化玻璃觀測(cè)窗,，10mm防爆玻璃內(nèi)門。
★隔熱層采用100mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,，保溫效果佳,。
★門框密封采用無(wú)氟硅橡膠密封條，耐高溫，抗老化,。
溫控系統(tǒng)：
★不銹鋼異性加熱器,，環(huán)繞工作室外壁，四面加熱,。
★7寸人機(jī)界面,，PLC+PID+SSR控制，SSR無(wú)觸點(diǎn)等周期脈沖調(diào)寬,，PID智能演算,，自動(dòng)恒溫，超溫抑制,，傳感器斷線警報(bào),，斷電記憶，控溫精準(zhǔn),，操控簡(jiǎn)便,。
★可依工藝設(shè)置多種運(yùn)行模式
★高精度級(jí)PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器
安全系統(tǒng)：
★按鍵鎖
★HMDS液位報(bào)警
★超溫保護(hù)
★電流過(guò)載保護(hù)
★相序保護(hù)
★漏電保護(hù)
★接地保護(hù)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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