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1,、特征

可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少,，沒(méi)有易損件,，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長(zhǎng),。

操作維護(hù)方便,。

動(dòng)力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒(méi)有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行,。

適應(yīng)性強(qiáng),。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速,，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.

多相混輸,。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性,、有毒,、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體,。

2,、應(yīng)用

螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能,、化工,、醫(yī)藥,、食品工業(yè)等領(lǐng)域,。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器,、蝕刻,、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。

在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,，在脂肪酸生產(chǎn)中用來(lái)消除水污染,，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無(wú)菌條件,，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料,、香精濃縮，食品包裝等,。

應(yīng)用范圍極為廣泛,。具體如下：

具體應(yīng)用：干燥處理、真空蒸餾,、分子蒸餾,、溶劑的回收、油氣回收,、工廠(chǎng)普通真空,、電子、真空鍍膜,、航空,、核工業(yè)領(lǐng)域 能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體,，尤其能滿(mǎn)足對(duì)獲得清潔真空要求較高的環(huán)境,。具體應(yīng)用：真空鍍膜、真空蒸餾,、真空干燥,、拉單晶、特氣制造,、離子刻蝕等,。

紡織、冶金等行業(yè) 在氨綸,、芳綸,、纖維、冶金等相關(guān)工藝中應(yīng)用干式真空泵,， 具體應(yīng)用：真空脫泡,、VOD真空吹氧脫碳法等。

一類(lèi)是以半導(dǎo)體行業(yè)為代表,，要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零,，以保護(hù)工件免受污染。對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用的真空系統(tǒng)的要求大體分為三個(gè)等級(jí),。

清潔條件下的抽氣,，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣。

中等條件下的抽氣,，抽除工藝過(guò)程的反應(yīng)氣體,，但無(wú)固體顆粒物。

惡劣條件下的抽氣,，抽除化學(xué)反應(yīng)物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物,。

另一類(lèi)是以石化行業(yè)為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體,，或腐蝕性氣體,，或有毒氣體，或含有微塵的氣體,。螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子,、核能、化工,、醫(yī)藥,、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片,、制造液晶顯示器,、蝕刻,、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。

在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,，在脂肪酸生產(chǎn)中用來(lái)消除水污染,，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無(wú)菌條件,，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料,、香精濃縮，食品包裝等,。