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真空泵的原理與分類

閱讀:395      發(fā)布時間:2024-10-22
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1,、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求,選用的真空泵的真空度佳的數(shù)值是133pa=-0.1兆帕,。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級,。

2,、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,。

3,、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。

4,、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求,,如鈦升華泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度,。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,,需要前級泵,,故都需要把泵組合起來使用。

5,、真空設備對油污染的要求,。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,,加上一些防油污染措施,,如加冷阱、障板,、擋油阱等,,也能達到清潔真空要求,我公司的真空干燥箱選用的是旋片式油泵,,其主要的特點:力道大,,速度快,,效率高。

6,、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸汽,有無顆?;覊m,,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,,需

要知道氣體成分,,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽,、顆粒,、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,,如冷凝器,、除塵器、或液態(tài)水過濾器等,。

7,、真空泵排出來的油蒸汽對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,,可以選無油真空泵,,或者把油蒸汽排到室外。

8,、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。

9、真空泵的價格,、運轉及維修費用,。



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