1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿(mǎn)足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,,選用的真空泵的真空度佳的數(shù)值是133pa=-0.1兆帕,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
2,、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn),。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍。
3,、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4,、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求需要幾種泵組合起來(lái),,互相補(bǔ)充才能滿(mǎn)足抽氣要求,如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,,但不能抽氦,,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,,兩者組合起來(lái),,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,,故都需要把泵組合起來(lái)使用,。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),,應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵,、濺射離子泵、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,,如加冷阱,、障板,、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求,,我公司的真空干燥箱選用的是旋片式油泵,,其主要的特點(diǎn):力道大,速度快,,效率高,。
6、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸汽,,有無(wú)顆粒灰塵,,有無(wú)腐蝕性等,。選擇真空泵時(shí),需
要知道氣體成分,,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸汽、顆粒,、及腐蝕性氣體,,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器,、除塵器,、或液態(tài)水過(guò)濾器等。
7,、真空泵排出來(lái)的油蒸汽對(duì)環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,,或者把油蒸汽排到室外,。
8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響,。若工藝過(guò)程不允許,,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
9,、真空泵的價(jià)格,、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用,。
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