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掃描電子顯微鏡的原理說明
閱讀：511 發(fā)布時間：2023-4-24
掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時,，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子,、特征x射線和連續(xù)譜X射線,、背散射電子、透射電子,，以及在可見,、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射,。同時,，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動 (聲子),、電子振蕩 (等離子體),。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用,，可以獲取被測樣品本身的各種物理,、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌,、組成,、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等,。
工作原理為：
在高真空的鏡筒中,，由電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)電子會聚透鏡聚焦成細束后,，在樣品表面逐點進行掃描轟擊，產(chǎn)生一系列電子信息（二次電子,、背反射電子,、透射電子、吸收電子等）,，由探測器將各種電子信號接收后經(jīng)電子放大器放大后輸入由顯像管柵極控制的顯像管,。
聚焦電子束對樣品表面掃描時，由于樣品不同部位表面的物理,、化學(xué)性質(zhì),、表面電位、所含元素成分及凹凸形貌不同,，致使電子束激發(fā)出的電子信息各不相同,，導(dǎo)致顯像管的電子束強度也隨著不斷變化，最終在顯像管熒光屏上可以獲得一幅與樣品表面結(jié)構(gòu)相對應(yīng)的圖像,。根據(jù)探測器接收的電子信號的不同,，可分別獲得樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像,、吸收電子圖像等,。
掃描電鏡分辨率可達50~100Å，電子放大倍數(shù)可由十幾倍連續(xù)變化到幾十萬倍,。因此可以對樣品的整個表面進行比較仔細的觀察,。