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一、熱式氣體質(zhì)量流量控制器MFC 產(chǎn)品概述：

1,、精度更高,，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口,；

2,、管狀分流，不易堵塞,；

3,、適用于各種低壓和高壓管道；

4,、預(yù)熱時間短,，零漂小，可靠性高,；

5,、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；

6、數(shù)字通訊RS485/232 Modbus,、Profibus,、Devicenet等協(xié)議可選,；

二,、產(chǎn)品應(yīng)用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金

環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)

三,、熱式氣體質(zhì)量流量控制器MFC 產(chǎn)品參數(shù)：

滿量程范圍：2SCCM～6000SLM

準(zhǔn) 確  度：±0.5%F.S

線       性：±0.5%F.S

重復(fù)精度：±0.2%F.S

響應(yīng)時間：流量計：＜0.1s,； 流量控制器：<0.2s

數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS協(xié)議

模 擬  量：0～5V,、4-20mA,、1～5V

供       電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0～50℃

工作壓降：<0.01Mpa(流量計）

工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐       壓：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì)：不銹鋼

密封材質(zhì)：氟橡膠,，氯丁橡膠,，丁腈橡膠，聚四氟乙烯,，F(xiàn)FKM/FFPM等

接       頭：φ3,，φ6，1/8",，1/4",，3/8"，1/2",，1"… …卡套,、法蘭、快插,、寶塔等,。。,。

如果所需性能要求與上述性能不同,，可以溝通定制。