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一,、ACU20FD-LH 反應(yīng)釜充氣質(zhì)量流量計及流量控制器 產(chǎn)品概述：

1、精度更高,，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口,；

2,、管狀分流，不易堵塞,；

3、適用于各種低壓和高壓管道,；

4,、預(yù)熱時間短,，零漂小，可靠性高,；

5,、模擬量輸入 / 輸出可使用二次表或流量計算機(jī)控制和顯示流量；

6,、數(shù)字量 采用 RS232/485 MODBUS協(xié)議,，可選協(xié)議還包括：Devicenet，Profibus,，Ethercat等,。

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

可適用于多種需要快速響應(yīng)的氣體應(yīng)用,，例如：可以滿足反應(yīng)釜充氣流量測量及控制的快速響應(yīng)需求等,。

三、ACU20FD-LH 反應(yīng)釜充氣質(zhì)量流量計及流量控制器 產(chǎn)品參數(shù)列舉：

滿量程范圍：低量程：2SCCM～30SLM,，中量程：30SLM~300SLM,，大量程：300SLM~6000SLM

準(zhǔn) 確  度：±0.5%F.S

線       性：±0.5%F.S

重復(fù)精度：±0.2%F.S

響應(yīng)時間：流量計：＜0.1s ；流量控制器：<0.2s

數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS協(xié)議等

模 擬  量：0～5V,、4-20mA,、1～5V

供       電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0～60℃

工作壓降：<0.01Mpa(流量計）

工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐       壓：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì)：不銹鋼

密封材質(zhì)：氟橡膠,，氯丁橡膠,，丁腈橡膠,，聚四氟乙烯,，F(xiàn)FKM/FFPM等

接       頭：φ3，φ6,，1/8",，1/4"，3/8",，1/2",，1"… …卡套、法蘭,、快插,、寶塔等。,。,。

如果所需性能要求與上述性能不同，可以溝通定制,。