熱式氣體質(zhì)量流量控制器的主要作用是測量和控制氣體質(zhì)量流量,。它利用熱擴散原理,，通過測量兩個標(biāo)準(zhǔn)RTD之間的溫度差來計算氣體流量。熱式氣體質(zhì)量流量控制器與其他類型的流量控制器在原理,、應(yīng)用,、優(yōu)缺點等方面存在一些差異。
1.熱式氣體質(zhì)量流量控制器：
熱式流量計基于熱擴散原理,，使用兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD,，一只用于發(fā)熱，另一只用于測量流體溫度,。當(dāng)流體流動時,，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，通過微電子控制技術(shù)轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出,。這種流量計的優(yōu)點是可自動化集成度高,、產(chǎn)品精度好、穩(wěn)定性和重復(fù)性優(yōu)于其他類型的流量控制器,。實際使用中發(fā)現(xiàn),，當(dāng)輸入的氣體不同時，控制顯示的數(shù)值與實際不符，原因在于氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（CF）的不同,。
2.電磁流量計：
根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律進行流量測量,。其優(yōu)點是壓損極小，可測流量范圍大,，精確度較高,。但它不能測量氣體、蒸汽以及純凈水的流量,。
3.渦街流量計：
根據(jù)卡門渦街原理研究生產(chǎn),，用于測量氣體、蒸汽或液體的體積流量和質(zhì)量流量,。其特點是壓力損失小,，量程范圍大，精度高,，不受流體密度,、壓力、溫度,、粘度等參數(shù)的影響,。
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