自動調(diào)壓式壓力控制器/壓力調(diào)節(jié)器屬過程控制儀表,常用于半導(dǎo)體工藝,,氣相和液相色譜儀,,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護控制,,氣密性泄露檢測,,高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。例如,,在MOCVD或CVD工藝中,,當供氣壓力突然發(fā)生變化時,管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,,這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定,,可能會對整臺設(shè)備的安全造成威脅,這時可由自動調(diào)壓式壓力控制器通過快速響應(yīng),,高精度,、穩(wěn)定控制來調(diào)整管路的壓力。
北京精量科技(ACCUFlow)可提供多種壓力控制器的定制方案(ACU20P系列產(chǎn)品),,確保適用于流動,、密閉容器或真空等應(yīng)用。ACU20P系列數(shù)字電子壓力控制器/壓力調(diào)節(jié)器(EPC)可裝配一體式或分體式控制閥,,它是一種比例式電磁控制閥,,具有快速和平穩(wěn)控制的特性。并有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域:常規(guī)應(yīng)用使用標準的直接操控閥,,高流速的應(yīng)用使用先導(dǎo)閥,,穩(wěn)壓和泄壓的應(yīng)用場景使用雙閥。
ACU20PC系列流動過程壓力控制器是單閥壓力控制器,,用于快速控制流動過程的壓力,,采用了直通式設(shè)計,測量范圍從20Pa到20MPA(絕壓和表壓皆可),。此外,,還提供差壓變送器,。該系列儀表精確度高、重復(fù)性好,,分為前壓控制和背壓控制兩種,。
ACU20PC系列標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度,、穩(wěn)定,、可靠的壓力測量和控制。
ACU20PC-C系列屬差壓壓力控制器,,采用單個閥門維持其兩個測量端口之間的恒定差壓,,其流道與差壓壓力傳感器的兩個端口被隔離開,可保持其兩個測量端口之間的差壓的恒定,。
ACU20PCD是雙閥壓力控制器 適用于密閉容器,,無需使用排氣閥便能實現(xiàn)密閉或者端閉容器內(nèi)的壓力控制。此雙閥壓力控制器,,集成了兩個電磁閥控制密閉空間的差壓,,兩個壓力測量端口均與流道隔離,進氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,,壓力過高時,,泄壓閥自行打開進行泄壓,快速精準地控制壓力的穩(wěn)定,,同時也可避免氣體浪費。
ACU20PCD標配壓力傳感器和數(shù)字電路板,,提供高精度,、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,,同時帶有可觸控顯示屏,,使操作更加便捷。
另外,,北京精量科技(ACCUFlow)的上述壓力控制器/壓力調(diào)節(jié)器產(chǎn)品可選配多種通訊協(xié)議,,主要包括RS232/485 Modbus,DeviceNet,,PROFIBUS DP,,FLOW-BUS、EtherCAT,、FF現(xiàn)場總線等協(xié)議,,也可按客戶需求定制協(xié)議,保證與某些特定行業(yè)常用協(xié)議或進口配套設(shè)備之間的無障礙通訊,。
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