電鏡掃描,，即掃描電子顯微鏡（ScanningElectronMicroscope,，簡稱SEM）的工作原理，可以詳細分為以下幾個步驟：
電子源產生電子束：
掃描電鏡中的電子源通常采用熱陰極發(fā)射電子的方式,，如熱絲或者熱發(fā)射陰極,。
當電子源受到加熱時，電子會從陰極表面發(fā)射出來,，形成電子束,。電子源的溫度和電流可以調節(jié)，以控制電子束的強度和穩(wěn)定性,。
電子束的加速和聚焦：
電子束經過加速電場,，使其獲得足夠的能量。
然后,，通過電磁透鏡系統(tǒng)（可以是磁透鏡或電透鏡）對電子束進行聚焦,，以獲得較小的束斑尺寸。聚焦系統(tǒng)的作用是使電子束盡可能地細致和聚焦,，以提高分辨率,。
電子束與樣品的相互作用：
將要觀察的樣品放置在掃描電鏡的樣品臺上，并調整樣品的位置和傾斜角度,。
當電子束照射到樣品表面時,，它與樣品中的原子和分子相互作用，產生多種信號,，包括二次電子,、背散射電子、散射電子,、透射電子,、特征X射線等。這些信號提供了關于樣品表面形貌,、成分和結構的信息,。
信號的檢測和處理：
掃描電鏡使用多種探測器來收集這些信號，并將其轉換為電信號,。
收集到的信號經過放大,、濾波、增益等處理后,，可以轉換為數字信號,，并通過計算機處理和顯示。
影像的生成和顯示：
電信號經過處理后,，通過計算機系統(tǒng)生成樣品的影像,。
這些影像可以以黑白或者彩色的形式顯示在顯示器上,，供操作者觀察和分析。
成像原理：
掃描電子顯微鏡是利用材料表面微區(qū)的特征（如形貌,、原子序數,、化學成分、或晶體結構等）的差異,，在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域產生不同的亮度差異,，從而獲得具有一定襯度的圖像。
成像信號主要是二次電子,，它們能夠反映樣品表面形貌差異的信息,，即微觀形貌像。此外,，背散射電子像可得到不同區(qū)域內原子序數差別的信息,，即組成分布像；特征X射線分析則可以對特定的某微區(qū)元素做定性和定量的化學成份分析,。
總結來說,，掃描電子顯微鏡的工作原理是通過電子束與樣品表面的相互作用，收集產生的各種信號,，經過處理后轉換為圖像,，從而獲取樣品表面的詳細信息。這種技術具有高分辨率,、大景深,、動態(tài)觀察等優(yōu)點，廣泛應用于材料科學,、生物學,、納米技術等領域。
2
立即詢價
您提交后,，專屬客服將第一時間為您服務