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當(dāng)前位置:湖南巍美電氣技術(shù)有限公司>>技術(shù)文章>>藍(lán)寶石壓力傳感器為啥可以耐高溫?
硅-藍(lán)寶石是一種測量技術(shù),,它是一種應(yīng)用于測量中的傳感器。藍(lán)寶石是一種沒有滯后,、疲勞和蠕變的單晶絕緣子,;堅(jiān)韌,不懼變形,;藍(lán)寶石具有很好的彈性和絕緣性能(在1000攝氏度以下),。
采用硅-藍(lán)寶石制作的半導(dǎo)體敏感器件,對環(huán)境的影響較小,,即使是在較高的環(huán)境中,,其靈敏度也很低。良好的工作性能,;藍(lán)寶石具有非常高的抗輻照性能,;此外,沒有p-n漂移的硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感器件,。從而,,生產(chǎn)過程得到了基本的簡化,重復(fù)的增加,,并保證了高的產(chǎn)量,。采用硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體感測元件,可在最嚴(yán)酷的工作環(huán)境中使用,。經(jīng)常工作,,可靠性高,精度高,,溫度誤差小,,性價(jià)比高。
至于為什么藍(lán)寶石壓力傳感器可以耐高溫,,主要是因?yàn)橐韵聨讉€方面:
A,、選材 藍(lán)寶石是單晶體鋁氧化物,是所有氧化物晶體中最硬的,,是理想的絕緣體,。它具有十分優(yōu)良的耐高溫化學(xué)惰性、電敏感性和絕緣性,。藍(lán)寶石利用自身原子外延的方式,,形成純凈的單晶結(jié)構(gòu)。由于在1000℃的溫度范圍內(nèi),,藍(lán)寶石是理想的絕緣體,。因此,硅電阻敏感電橋電路的壓敏電阻即使在最高溫度下,,也不會發(fā)生短路,。
B、工藝措施 為適應(yīng)高溫條件下的使用,,不采用金絲作為電路觸點(diǎn),,因?yàn)榻鸾z在200℃的溫度下,會同硅形成易熔質(zhì),,所有硅接點(diǎn)都采用鋁制,。同時(shí),在500℃的范圍內(nèi),,硅(選用很強(qiáng)的合金硅)并不改變自身的彈性特點(diǎn),。將藍(lán)寶石熔焊在鈦合金上,必須在850℃左右的溫度范圍下進(jìn)行,,這就使得鈦合金在高溫狀態(tài)下依然具有很好的工作特性,。因此,所有使用SOS(藍(lán)寶石上的硅)結(jié)構(gòu)制成的傳感器可以在不高于350℃(敏感元件在此溫度也是如此)和500℃的溫度條件下工作,。
C,、從結(jié)構(gòu)上考慮 使用雙耐高溫鈦合金膜片和硬桿連接傳感器時(shí),傳感器內(nèi)部硅-藍(lán)寶石敏感元件處于低溫區(qū),,大大低于介質(zhì)溫度,。所以使鈦/硅-藍(lán)寶石傳感器可以適應(yīng)高溫環(huán)境條件下工作。
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