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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> MKS AX7687-85 ASTRON2L RPS 遠(yuǎn)程等離子源
MKS ASTRON2L RPS 半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子源 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良性能和高可靠性的高性能遠(yuǎn)程等離子體源,，是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件，消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚,，增加工藝工具的壽命,，并減少薄膜污染的來(lái)源。ASTRON Series RPS 廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體各制程的清潔環(huán)節(jié)中,，可以以各種不同的配置安裝在硅晶圓或大面積基板工藝室上,。ASTRON Series RPS效果良好且更加經(jīng)濟(jì)可靠，為CVD室清潔，F(xiàn)PD（平板顯示器）提供所需的反應(yīng)氣體室清潔,，太陽(yáng)能室清潔,，光刻膠堆灰，氧化,，氮化和化學(xué)消減,。
MKS ASTRON2L RPS 半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子源 技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào)：Astron AX7687-85
P/N 0190-41326W
AC輸入： 208V ~，3 phase ~,，50/60Hz,，30A
散熱方式：水冷散熱
水冷水壓：100 PSIG（Max.）
通信接口：RS-232 / Cust I/O
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