您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng),！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
19975057911
當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> 射頻電源 MKS Spectrum 11002 RF Generator
MKS 射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW Spectrum RF Generator 射頻發(fā)生器是MKS的一款新型射頻發(fā)生器平臺(tái),，可提供1.5kW ~ 11kW的各種頻率功率，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)薄膜加工日益增長的需求,。高可靠性的設(shè)計(jì)確保了設(shè)備改進(jìn)后的工藝性能和良率,。MKS Spectrum Series 設(shè)備功率控制精確，響應(yīng)時(shí)間快,，熱穩(wěn)定性好,，精度高。MKS Spectrum 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性,，精準(zhǔn)的控制能力和優(yōu)良可靠的成膜能力,，成膜速度快，在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中被廣泛應(yīng)用,。
技術(shù)參數(shù)
AC 電源輸入：200 ~ 208V,，3 phase ~，60A,，50/60Hz
RF 射頻輸出：8500W（Max.）,，1.8 ~ 2.17MHz
電機(jī)扭力：8.5 ~ 10.0 LB. FT. 120 ~ 140 KGF/CM
散熱方式：水冷散熱
水冷進(jìn)水需求：水流（Min.）11.4L/Min（3GAL/Min）
水冷水溫：＋35℃（Max.）
進(jìn)水水壓：60 PSI / 414 kPa（Max.）
通信接口：POD / RS -232
設(shè)備重量：57kg （125lbs）
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性,、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn),，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量,。
