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AE Navigator 3013 RF Match 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)快速,、精確,、可靠的數(shù)字調(diào)諧匹配，使用先進(jìn)的數(shù)字技術(shù)可縮短調(diào)諧和匹配響應(yīng)時(shí)間,。Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)具有優(yōu)秀的射頻等離子體控制方法,，高級(jí)脈沖控制，可在脈沖時(shí)調(diào)諧,，通過(guò)集成的內(nèi)部射頻傳感器深入監(jiān)測(cè)等離子體,。內(nèi)部射頻傳感器可實(shí)時(shí)分析過(guò)程功率和阻抗，幫助客戶快速識(shí)別并明顯減少工藝偏差,。選配的虛擬前面板軟件,，可通過(guò)用戶計(jì)算機(jī)進(jìn)行監(jiān)測(cè)和控制。

技術(shù)參數(shù)

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

優(yōu)點(diǎn)

1.快速調(diào)諧和縮短匹配響應(yīng)時(shí)間

2.加強(qiáng)過(guò)程控制

3.提高設(shè)備效率和產(chǎn)品產(chǎn)量

4.提高可靠性,，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過(guò)程

特點(diǎn)

1.數(shù)字架構(gòu),，采用基于模型的快速調(diào)諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調(diào)失真（IMD）抗擾，針對(duì)多頻率應(yīng)用

5.實(shí)時(shí)工藝功率和阻抗測(cè)量