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AE 射頻電源 Paramount MF5002 2MHz 5000W RF Generator 是面向核心等離子體應用的業(yè)界前沿的可重復電源,，Paramount MF系列射頻功率發(fā)生器集頻率調(diào)諧,、脈沖和全數(shù)字控制于一身。設備采用的全數(shù)字控制可動態(tài)響應等離子體變化,，頻率和功率可定制范圍分別從400kHz ~ 60MHz和1.5KW ~ 10KW,，能夠實現(xiàn)控制的優(yōu)化和同步。

Paramount 平臺采用數(shù)字架構,，可實現(xiàn)精密的電源管理和優(yōu)化新功能的集成,，無需研制周期或硬件更改。該平臺通過實時檢測等離子體的變化,，實現(xiàn)大功率輸出和可重復性能,。內(nèi)部保護限值還可確保操作穩(wěn)定可靠。關注操作靈活性,，推動您的工藝開發(fā),。Paramount® 射頻發(fā)生器可提供寬頻率和功率范圍，支持多種集成場景,，并配備標準串行或模擬接口,。

優(yōu)點：

提高等離子體穩(wěn)定性和工藝可重復性

精密控制射頻功率

快速響應等離子體變化

易于調(diào)整滿足特定應用需求

特點：

全數(shù)字控制

頻率調(diào)諧、脈沖和脈沖同步

實時功率和阻抗測量

電弧管理

相位同步（CEX）

AE 射頻電源 Paramount MF5002 2MHz 5000W 技術參數(shù)：

AC輸入：200 ~ 208V,，3 phase ~,，23A（Max.），50 ~ 60Hz

RF輸出：5000W,，1.8 ~ 2.17MHz,，775Vrms

散熱：水冷+風冷

工作環(huán)境溫度：+5℃ ~ +40℃

通信接口：RS-232、用戶端口,、以太網(wǎng),、DeviceNet、Profibus,、EtherCAT