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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> AE RFG 2000-2V 射頻電源 13.56MHz 3KW
AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有高可靠性和優(yōu)良性能的射頻電源，在實(shí)際運(yùn)行中展現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和控制能力,。該款射頻電源主要采用了緊湊的外觀設(shè)計,，整體小巧便捷,，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本,。AE RFG系列射頻電源具有良好的成膜能力,，能夠快速成膜，被廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中,，CVD,、PVD、PECVD,、濺射,、蝕刻均有應(yīng)用。RFG 2000-2V,，加上它相關(guān)的固定匹配網(wǎng)絡(luò)(MFA),，是一種傳統(tǒng)的AE 13.56 MHz射頻發(fā)生器，具有定制的腔室安裝和緊密的機(jī)械包絡(luò),。
AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW 參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）
設(shè)備型號：RFG 2000-2V
AC 電源輸入：3 phase~ ,，208V~，50/60Hz,，20A
RF 射頻輸出：3000W,，13.56MHz
設(shè)備散熱：水冷散熱
水冷進(jìn)水需求：MAX進(jìn)水水壓6.9 Bars/69kPa
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