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Pinnacle直流電源平臺具有優(yōu)秀的工藝一致性和控制功能,，從而大大減少了工藝變化,，提高了產量。利用精確,、可重復的功率和優(yōu)勢,、低輸送電弧能量，生產優(yōu)良的薄膜，實現(xiàn)工藝效率的優(yōu)化,，電源采用主/從配置的可靠,、緊湊型風冷設計。

AE 直流磁控電源 Pinnacle-10K 10KW  DC電源突出的工藝穩(wěn)定性和控制能力,，可有效的減少差異和提高良品率,。緊湊的外形集合了多種功能，包括優(yōu)秀的電弧管理,、產生低儲存能量,、快速電弧響應以及較寬的全功率運行阻抗范圍。

技術參數(shù)

Power

Single Output ：6,，10,，12 or 20KW

Dual Output    ：6/6 and 10/10 KW，independently controlled

Voltage

Up to 1000 VDC in a single voltage range (no taps)

Repeatability

+/- 0.1% of rated power

Accuracy

+/- 1% setpoint or +/- 0.2% full-rated power (whichever is greater)

Communication Interfaces

Analog, RS-232/485, Profibus

AC Input

208, 400, 440, and 480 VAC

AE 直流磁控電源 Pinnacle-10K 10KW  DC電源

優(yōu)點

1.降低運作和安裝成本,；

2.實現(xiàn)快速電弧響應,；

3.配置電弧響應；

4.優(yōu)化工藝效率,；

5.精密的控制工藝,。

特點

1.低儲存能量 — 每 1 kW 輸出小于 1 mJ；

2.無抽頭,；

3.輸出可重復性為 ±0.1%,；

4.目標調節(jié)周期 (TCC) — 將新靶標的調節(jié)時間縮短；

5.焦耳模式 — 優(yōu)化能量供應,。