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AE Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)快速,、精確、可靠的數(shù)字調(diào)諧匹配,，AE NavigatorⅡ 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW RF Matching Box 使用先進(jìn)的數(shù)字技術(shù)可縮短調(diào)諧和匹配響應(yīng)時(shí)間,。

AE Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)具有優(yōu)秀的射頻等離子體控制方法，高級脈沖控制,，可在脈沖時(shí)調(diào)諧,，通過集成的內(nèi)部射頻傳感器深入監(jiān)測等離子體。內(nèi)部射頻傳感器可實(shí)時(shí)分析過程功率和阻抗,，幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差,。選配的虛擬前面板軟件，可通過用戶計(jì)算機(jī)進(jìn)行監(jiān)測和控制,。

AE NavigatorⅡ 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW RF Matching Box

技術(shù)參數(shù)

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

優(yōu)點(diǎn)

1.快速調(diào)諧和縮短匹配響應(yīng)時(shí)間

2.加強(qiáng)過程控制

3.提高設(shè)備效率和產(chǎn)品產(chǎn)量

4.提高可靠性,，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過程

特點(diǎn)

1.數(shù)字架構(gòu)，采用基于模型的快速調(diào)諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調(diào)失真（IMD）抗擾,，針對多頻率應(yīng)用

5.實(shí)時(shí)工藝功率和阻抗測量