超純水 (UPW),、高純度水或高純度水 (HPW) 是經(jīng)過凈化以達到非常嚴格的規(guī)格的水。 超純水是制造業(yè)中常用的一個術(shù)語,，用于強調(diào)這樣一個事實,，即針對所有污染物類型對水進行最高純度處理,，包括：有機和無機化合物； 溶解物和顆粒物,； 揮發(fā)性和非揮發(fā)性,； 反應(yīng)性和惰性； 親水性和疏水性,； 和溶解的氣體,。

UPW 與常用術(shù)語去離子 (DI) 水不同。 除了 UPW 去除有機顆粒和溶解氣體這一事實外,，典型的 UPW 系統(tǒng)還包括三個階段：生產(chǎn)純凈水的預(yù)處理階段,，進一步凈化水的初級階段，以及拋光階段,，這是最昂貴的部分 治療過程,。

許多組織和團體制定并發(fā)布了與 UPW 生產(chǎn)相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)。

zui廣泛使用的 UPW 質(zhì)量要求記錄在 ASTM D5127 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南和半導(dǎo)體加工超純水 SEMI F63 指南中,。

超純水也被用作英國 AGR 船隊的鍋爐給水,。

細菌、顆粒,、有機和無機污染源因多種因素而異,，包括制造超純水的給水，以及用于輸送它的管道材料的選擇,。 通常以每體積 UPW 的菌落形成單位 (CFU) 報告細菌,。 顆粒使用每體積 UPW 的數(shù)量。 總有機碳 (TOC),、金屬污染物和陰離子污染物均以無量綱的單位表示法測量,，例如 ppm、ppb,、ppt 和 ppq,。

細菌被稱為該列表中最頑固的控制之一。 有助于xxx限度減少 UPW 流內(nèi)細菌菌落生長的技術(shù)包括偶爾的化學(xué)或蒸汽消毒（這在制藥行業(yè)很常見）,、超濾（在一些制藥行業(yè),，但主要是半導(dǎo)體行業(yè)）、臭氧化和優(yōu)化管道系統(tǒng)設(shè)計,，以促進 使用最小流量的雷諾數(shù)標(biāo)準(zhǔn),，以及最小化死角。 在現(xiàn)代和先進的 UPW 系統(tǒng)中,，通常在新建設(shè)施中觀察到陽性（高于零）細菌計數(shù),。 這個問題可以通過使用臭氧或過氧化氫進行消毒來有效解決。 通過正確設(shè)計拋光和分配系統(tǒng),，在 UPW 系統(tǒng)的整個生命周期中通常不會檢測到陽性細菌計數(shù),。

UPW 中的顆粒是半導(dǎo)體行業(yè)的禍根,，會導(dǎo)致定義納米尺寸特征的敏感光刻工藝出現(xiàn)缺陷。 在其他行業(yè),，它們的影響可能從令人討厭到危及生命的缺陷不等,。 可以通過過濾和超濾來控制顆粒。 來源可能包括細菌碎片,、管道濕流中組件壁的脫落,，以及用于構(gòu)建管道系統(tǒng)的連接過程的清潔度。

超純水中的總有機碳可以通過提供養(yǎng)分促進細菌增殖,，可以在敏感的熱過程中作為碳化物替代另一種化學(xué)物質(zhì),，以不需要的方式與生物加工中的生化反應(yīng)發(fā)生反應(yīng)，并且在嚴重的情況下會留下不需要的殘留物 在生產(chǎn)零件上,。 TOC 可能來自用于生產(chǎn) UPW 的進水,、來自用于輸送 UPW 的成分（制造管道產(chǎn)品中的添加劑或擠出助劑和脫模劑）、來自管道系統(tǒng)的后續(xù)制造和清潔操作,，或來自臟管道 ,、配件和閥門。

超純水系統(tǒng)中的金屬和陰離子污染會關(guān)閉生物工藝中的酶促過程,，腐蝕發(fā)電行業(yè)的設(shè)備,，并導(dǎo)致半導(dǎo)體芯片和光伏電池中的電子元件出現(xiàn)短期或長期故障。 它的來源與 TOC 的來源相似,。 根據(jù)所需的純度水平,，這些污染物的檢測范圍從簡單的電導(dǎo)率（電解）讀數(shù)到復(fù)雜的儀器。