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質(zhì)量流量控制器的優(yōu)勢(shì)
閱讀：456 發(fā)布時(shí)間：2023-3-23
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門,，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程,，在工作的過程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降,，即壓差,。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于*低值(0.1MPa),，有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于*高值(0.3MPa),，有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí),，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,，應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定,。
測(cè)量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出,。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示、累積流量自動(dòng)計(jì)量,、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄,、計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言,，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制,。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0～+5V或4～20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。
**地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以**地控制氣體的給定量,，這對(duì)很多工藝過程的流量控制,、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,，如HCL);有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品*小流量范圍可達(dá)0～5sccm,，*大流量范圍可達(dá)0～200slm,。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2～100%量程比為--50:1,因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。