VAT 真空閥專為高真空,、超高真空和超高真空條件下的所有真空水平而設計。 VAT 真空閥在潔凈室條件下生產(chǎn),，并針對各自的應用量身定制,。除了高純度之外，VAT 真空閥因其高度精確的功能和耐用性而特別令人信服,，即使在工藝條件下也是如此,。 VAT 擁有全面的真空隔離和控制閥、氣體計量閥,、傳輸閥,、排氣閥和溢流閥以及快速關閉閥產(chǎn)品組合，可為所有應用領域提供*佳解決方案,。 技術決定為保證*佳的真空隔離或控制功能,，VAT 真空閥使用 VAT 開發(fā)的不同真空閥技術,。除了顆粒防止功能外,，這些技術還確保了在大量關閉和控制循環(huán)中的精確操作。 因此,，適用于各種應用的 VAT 真空閘閥,、真空角閥以及蝶形真空閥、擺式真空閥或全金屬真空閥為所有領域的真空閥解決方案設定了標準,。 挑戰(zhàn)我們,，我們也期待為您提供*佳解決方案。 除了我們網(wǎng)站上提供的標準解決方案外,，我們也很樂意為您的真空系統(tǒng)開發(fā)量身定制的解決方案,，請聯(lián)系我們。所有條件下的出色壓力控制 61.3 控制蝶閥提供出色的壓力控制性能,。憑借其快速而精確的動作控制器 (0.1?s),，它是 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的解決方案。該板充當節(jié)流元件并改變閥門開口的傳導性,。 61.3 的集成壓力控制器計算所需的板位置以盡可能快地達到設定壓力,。 它專為氣流中含有顆粒的苛刻下游工藝而設計。盡管設計的顆粒負載和碎片堆積很高,，但 61.3 仍可*運行,。 61.3 系列已安裝在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應用中，證明了其出色的可靠性。 61.3 系列具有堅固的設計和直接安裝選項,，以及減少和易于維護,，在各個方面都令人信服。 閥體材料,、表面處理,、彈性體、法蘭連接,、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應,、固定 PI 下游/軟泵）方面的各種設計選項簡化了與各種真空應用的集成。61.3 提供控制蝶閥鋁制或不銹鋼材質,，帶有 ISO-KF 和 ISO-F 標準法蘭連接器,。可以集成客戶特定的法蘭以及特殊功能,，例如帶絕緣的集成加熱器,。可根據(jù)要求提供各種 FFKM/FKM 彈性體（FKM Viton® 為標準配置）,。 61.3 控制蝶閥的主要特點特征： 出色的壓力控制非?？焖俚牟僮饔糜诒镜夭僮鞯陌遢d軟件在惡劣的工藝條件下可靠運行好處： 更好的過程可控性正常運行時間長/性能不受限制運營成本低
