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機液伺服閥是將小功率的機械動作轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽浚髁炕驂毫Γ┑臋C液轉(zhuǎn)換元件。機液伺服閥大都是滑閥式結(jié)構(gòu),，在船舶的舵機,、機床的仿形裝置、飛機的助力器上應(yīng)用最早,。電液伺服閥是將電量轉(zhuǎn)變成液壓輸出量的電液轉(zhuǎn)換元件,，出現(xiàn)于1940年。到50年代,，這種元件的結(jié)構(gòu)趨于成熟,。隨著電子技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展，電液伺服系統(tǒng)的性能得到顯著改善,，大大優(yōu)于其他的液壓伺服系統(tǒng),，因而得到廣泛應(yīng)用。電液伺服閥的內(nèi)部結(jié)構(gòu)可分滑閥位置反饋,、載荷壓力反饋和載荷流量反饋,；閥的級數(shù)可分單級、雙級和多級,。在電液伺服閥中,，將電信號轉(zhuǎn)變?yōu)樾D(zhuǎn)或直線運動的部件稱為力矩馬達(dá)或力馬達(dá)。EMG LLS875/01 對中光源發(fā)射器 易安基

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力矩馬達(dá)浸泡在油液中的稱為濕式,，不浸泡在油液中的稱為干式,。其中以滑閥位置反饋、兩級干式電液伺服閥應(yīng)用 ,。圖為電液伺服閥的工作原理,。力矩馬達(dá)在線圈中通入電流后產(chǎn)生扭矩,，使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動，移動的距離和方向隨電流的大小和方向而變化,。例如擋板向右移近噴嘴時,，就在主閥芯兩端面上產(chǎn)生壓力差推動主閥芯左移，使壓力油口P S與載荷1口相通,回油口與載荷 2口相通,。主閥芯左移的同時通過反饋桿對力矩馬達(dá)產(chǎn)生的力矩和擋板的位移進行負(fù)反饋,。因此，主閥芯的位移量就能精確地隨著電流的大小和方向而變化,，從而控制通向液壓執(zhí)行元件的流量和壓力,。氣液伺服閥是將氣動量轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽康臍庖恨D(zhuǎn)換元件 EMG LLS875/01 對中光源發(fā)射器 易安基

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