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菲希爾X射線測厚儀,、Fischer代理XDL230

主要技術(shù)指標：（標★為重要參數(shù)）

1、測量原理：X射線熒光光譜法測量鍍層厚度

2,、測量方式：無損檢測,，可自動聚焦

3、元素測量范圍: Cl（17）--U（92）,，多可測量24種元素23層鍍層

★4,、手動X/Y平臺,移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm

5、電動Z軸,，手動/自動聚焦,，可移動范圍≥140mm

★6,、采用DCM（測量距離補償法）可遠距離對焦測量腔體樣品,，可達80mm深度

★7、滿足可變高壓30KV,40KV,50KV三種可調(diào)節(jié),，以滿足不同的測試需求,。

★8、準直器：φ0.3的圓形準直器

9,、X射線探測器：比例接收器

10,、統(tǒng)計計算：數(shù)據(jù)組帶時間和時期功能,，統(tǒng)計功能包含平均值、標準偏差,、大值,、小值等；還可輸入公差范圍,，計算CP和Cpk值,，超范圍值時儀器應有自動報警提示功能

11、windows7以上中文操作界面,，WinFTM專業(yè)測試軟件,，具備連接PC和打印機的USB借口

★12、測量誤差：鍍層厚度≥0.5um時,，頂層鍍層測量精度≤5%

★13,、采用*基本參數(shù)法，內(nèi)置1