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美國激光干涉儀

美國激光干涉儀

API激光干涉儀多軸加工中心的校準

XD Laser激光干涉儀,，一次安裝可測得六個參數(shù)（包括x、y,、z,、俯仰角、偏擺角,、滾動角）,，可實現(xiàn)對多軸加工中心的精準測量與評估。

API激光干涉儀快速測量

與傳統(tǒng)干涉儀相比,，XD激光干涉儀可以更加快速,、準確地測量機床的定位和軸向數(shù)據(jù)，迅速完成整機的性能評估,，停機時間可減少80%,。

API激光干涉儀實時分析

API激光干涉儀軟件系統(tǒng)可對XD激光干涉儀采集的數(shù)據(jù)進行實時分析處理并生成測量報告,。

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激光干涉儀

在氦氖激光器上,，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場,。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應, 激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路,。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束,。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產(chǎn)生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的,，即波的頻率在波源或接受器運動時會產(chǎn)生變化),。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件,、放大器,、整形器后進入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計數(shù)器計數(shù)后,，由電子計算機進行當量換算（乘 1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量,。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上,，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機,、三坐標測量機,、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機,、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng),。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量,、平面度測量和小角度測量,。