驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度-X最大/最小

200mm/0.1mm

測(cè)量速度

0.1mm/s至13mm/s

驅(qū)動(dòng)速度

最高可達(dá)13mm/s

X軸數(shù)據(jù)采樣間隔

長(zhǎng)度為200mm時(shí)0.125μm

Z軸（垂直）性能

可使用高度

190mm

定位速度

0.25mm/s至10mm/s

傳感器

標(biāo)稱傳感器量程（Z）（驅(qū)動(dòng)箱在0°狀態(tài)）

長(zhǎng)測(cè)桿長(zhǎng)度60mm

14mm

長(zhǎng)測(cè)桿長(zhǎng)度120mm

28mm

分辨率

0.8nm @ 14mm量程

測(cè)針桿部長(zhǎng)度,、針尖尺寸、測(cè)力

60mm測(cè)桿,、2μm半徑錐球形鉆石針尖,、1mN接觸力

系統(tǒng)性能

形狀誤差-Pt（球校準(zhǔn)半徑誤差）

最大100nm @ 22mm 通常小于60nm @ 22mm

半徑測(cè)量不確定性

0.1mm-80mm=1%-0.005%標(biāo)稱值

80mm-1000mm=0.005%-0.1%標(biāo)稱值

1000mm-2000mm=0.1%標(biāo)稱值

測(cè)量能力

最大工件直徑

300mm

最大工件髙度

190mm

最大工件重量

10Kg