TALYSURF PGI400輪廓儀

1. 泰勒霍普森輪廓儀掃描箱

(1) 測量長度： 0.1mm-120mm

(2) 驅(qū)動： 可使用操縱桿或計算機(jī)驅(qū)動

(3) 直線度： 0.06µm +0.0037µm/mm * 水平移動長度(mm)

泰勒霍普森輪廓儀可選擇基準(zhǔn)校正

(4) 移動速度： 0.5/1.0/2.5/5.0/10.0mm/秒

2. 泰勒霍普森輪廓儀機(jī)動立柱

(1) 材料： 環(huán)氧花崗巖

(2) 掃描箱移動高度： 450mm(標(biāo)準(zhǔn))

(3) 驅(qū)動： 可使用操縱桿或計算機(jī)驅(qū)動

(4) 垂直移動速度： 0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒

(5) 掃描箱傾斜： ±9o,，機(jī)動

3. 泰勒霍普森輪廓儀基架和,、基座和防震墊

(1) 工作臺材料： 環(huán)氧花崗巖

(2) 工作臺尺寸： 760×500×120mm

(3) 帶氣浮防震，臺面上有兩個T型槽

4. 泰勒霍普森輪廓儀傳感器

(1) 類型： 位相光柵干涉

(2) 測量量程： 4mm (使用60mm長金剛石測桿,，同時測量粗糙度和輪廓)

8mm (使用120mm長球形測桿,，測量輪廓)

(3) 分辨率： 4mm量程時12.8nm

(4) 量程與分辨率之比： 312,000:1

(5) 測量力： 1mN