機床定位激光干涉儀

美國API激光干涉儀

基本上,，激光干涉儀都使用氦氖激光器的632.8 nm波長的光,，橙紅燦爛的光束射向遠方，發(fā)散角可以小到0.1 mrad,，光束截面的光斑均勻,。氦氖激光器還可輸出綠光、黃光,、紅外光,，但只有632.8 nm波長的光適合作激光干涉儀的光源,。其它類型的激光器，如半導體（LD）,、固體激光器等的相干等性能都遠不及氦氖激光器,，研究人員多有嘗試，但都沒有成功,。

激光干涉儀有很多應用,，但本質都是測量中學課本講的“位移"，諸多應用都是“位移"的延伸和轉化,。激光干涉儀有兩個主流類型：單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀,。

美國API激光干涉儀單頻干涉儀能做的雙頻激光干涉儀都能做，但雙頻干涉儀能做的單頻干涉儀不見得能做,。由于歷史,、技術和商業(yè)原因，兩種干涉儀都有著廣泛應用,。但在光刻機上,，雙頻激光干涉儀市場。

美國API激光干涉儀單頻干涉儀不需要對市場上的氦氖激光器進行改造,，直接可用,。但雙頻激光干涉儀用的激光器需要附加技術使其產生雙頻（兩個頻率）,。

歷,，雙頻激光干涉儀測量位移的速度不及單頻激光干涉儀，自從發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器,，雙頻激光干涉儀的測量速度也達到每秒幾米,，與單頻激光器看齊了。

按產生雙頻的方法,，雙頻激光干涉儀分為塞曼雙頻激光（國外）干涉儀和雙折射-塞曼雙頻激光（國內）干涉儀,。

現在干涉儀的指標：最小可感知1 nm（十億分之1 m），可以測量百米長的零件,，且測量70 m長的導軌誤差僅為幾微米,。