愛佩儀激光干涉儀產(chǎn)品介紹

XD Laser API激光干涉儀是API公司的產(chǎn)品,，一次安裝即可以測得6個參數(shù),，包括1個位置度誤差,，2個直線度誤差和3個角度誤差,。通常需要幾天進行測試的數(shù)據(jù),，使用API激光干涉儀只需要幾個小時即可完成,，實際應(yīng)用結(jié)果表明，可節(jié)省時間高達80%,。

XD Laser API激光干涉儀體積小,，重量輕，可以直接安裝到機床導(dǎo)軌上,，XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器,，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,，一束光經(jīng)錐角反射菱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進行電子計數(shù),，記錄精確長度位置,。第二束光作直線度測量的參考光束，傳感器和參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得,。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。

API激光干涉儀為了保證激光光束的穩(wěn)定性,，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到最小,，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性，測量儀配有自動氣壓,，環(huán)境溫度補償器,，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響,，測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器,，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到較低。