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數(shù)字量氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,，不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大,，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,，用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等,。

數(shù)字量氣體質(zhì)量流量計(jì)由質(zhì)量流量傳感器,，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路組成,，采用數(shù)字信號(hào)輸入輸出,，具有預(yù)熱時(shí)間短，零漂小,，可靠性高等特點(diǎn),。

流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成,。