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科里奧利質(zhì)量流量控制器
  • 科里奧利質(zhì)量流量控制器

貨物所在地:江蘇無錫市

更新時(shí)間:2025-01-21 21:00:07

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科里奧利質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制,。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科,、化學(xué)工業(yè),、石油工業(yè)、醫(yī)藥,、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,。

科里奧利質(zhì)量流量控制器其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散,、外延,、CVD、氧化,、等離子刻蝕,、濺射,、離子注入;以及鍍膜設(shè)備,、光纖熔煉,、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng),、毛細(xì)管測(cè)量,、氣相色譜儀及其他分析儀器。

  • 在大多數(shù)流量?jī)x表上0.6%的讀數(shù)精度

  • 4 ms響應(yīng)時(shí)間

  • 無需預(yù)熱

  • 四個(gè)過程變量

  • 內(nèi)置的顯示

  • 工業(yè)協(xié)議

  • 壓力補(bǔ)償

  • 溫度補(bǔ)償

  • 寬動(dòng)態(tài)流量范圍


科里奧利質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

1

  量程范圍

 ?。?~5,,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

  2

  準(zhǔn)確度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  3

  線性

  ±0.5~1.5%F.S

  4

  重復(fù)精度

  ±0.2%F.S

  5

  響應(yīng)時(shí)間

  電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

  6

  工作壓差

  0.1~0.5MPa

  7

  耐壓

  3MPa

  8

  工作環(huán)境溫度

  0~70℃

  9

  數(shù)字量

  RS485 MODBUS協(xié)議

  10

  模擬量

  DC 0~5V ,,4~20mA 可選

  11

  供電

  DC +15V/24V 可選,,流量計(jì)<400mA,控制器<600mA

  12

  電氣連接

  DB15



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