首頁 >> 供求商機(jī)
貨物所在地:江蘇無錫市
更新時(shí)間:2025-01-21 21:00:07
瀏覽次數(shù):554
在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品( 聯(lián)系我們,,請(qǐng)說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>
科里奧利質(zhì)量流量控制器其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散,、外延,、CVD、氧化,、等離子刻蝕,、濺射,、離子注入;以及鍍膜設(shè)備,、光纖熔煉,、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng),、毛細(xì)管測(cè)量,、氣相色譜儀及其他分析儀器。
在大多數(shù)流量?jī)x表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應(yīng)時(shí)間
無需預(yù)熱
四個(gè)過程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補(bǔ)償
溫度補(bǔ)償
寬動(dòng)態(tài)流量范圍
科里奧利質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):
1 | 量程范圍 | ?。?~5,,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ,,4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選,,流量計(jì)<400mA,控制器<600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)