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貨物所在地：江蘇無錫市
更新時(shí)間：2025-01-21 21:00:07
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科里奧利質(zhì)量流量控制器其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備,，如擴(kuò)散、外延,、CVD,、氧化、等離子刻蝕,、濺射,、離子注入；以及鍍膜設(shè)備,、光纖熔煉,、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng),、毛細(xì)管測量,、氣相色譜儀及其他分析儀器。
在大多數(shù)流量儀表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應(yīng)時(shí)間
無需預(yù)熱
四個過程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補(bǔ)償
溫度補(bǔ)償
寬動態(tài)流量范圍
科里奧利質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
1 | 量程范圍 | ?。?~5,，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ,，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選,，流量計(jì)＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
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