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GRYLLS5900-格里爾斯質(zhì)量流量控制器
  • GRYLLS5900-格里爾斯質(zhì)量流量控制器

貨物所在地:江蘇無錫市

更新時(shí)間:2024-09-15 21:00:06

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格里爾斯質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制,,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科,、化學(xué)工業(yè),、石油工業(yè)、醫(yī)藥,、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散,、外延,、CVD、氧化,、等離子刻蝕,、濺射、離子注入,;以及鍍膜設(shè)備,、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置,、混氣配氣系統(tǒng),、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器,。

 格里爾斯質(zhì)量流量控制器工作原理:

  氣體質(zhì)量流量控制器的精度,、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司特別的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,,能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響,。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值,然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果,。通過測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量,。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上,,牢固且可靠,。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

注意:

  質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)鈽?biāo)定.

  質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

  標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度-----273.15K (0℃);

  氣壓-----101325 Pa (760mm Hg)

637946858100903014812.jpg

 格里爾斯質(zhì)量流量控制器主要技術(shù)指標(biāo)

1

  量程范圍

 ?。?~5,,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

 ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

2

  準(zhǔn)確度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

3

  線性

  ±0.5~1.5%F.S

4

  重復(fù)精度

  ±0.2%F.S

5

  響應(yīng)時(shí)間

  電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

6

  工作壓差

  0.1~0.5MPa

7

  耐壓

  3MPa

8

工作環(huán)境溫度

  0~70℃

9

  數(shù)字量

  RS485 MODBUS協(xié)議

10

  模擬量

  DC 0~5V ,4~20mA 可選

11

  供電

  DC +15V/24V 可選,,流量計(jì)<400mA,,控制器<600mA

12

  電氣連接

  DB15

13

  漏率

  1×10\u001F-8SCCSHe

14

  底座材質(zhì)

  316L不銹鋼

15

  密封材質(zhì)

  氟橡膠,丁晴橡膠,,氯丁橡膠

16

  氣路接頭

  Φ3,,Φ6,Φ10,,1/8〞,1/4〞,,3/8〞



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