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5910DD4-差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)
  • 5910DD4-差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)

貨物所在地:江蘇無錫市

更新時(shí)間:2024-09-15 21:00:06

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差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)5910DD4用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制,。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè),、特種材料學(xué)科,、化學(xué)工業(yè),、石油工業(yè)、醫(yī)藥,、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,。

差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)5910DD4用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè),、特種材料學(xué)科,、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè),、醫(yī)藥,、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。

其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,,如擴(kuò)散,、外延、CVD,、氧化,、等離子刻蝕、濺射,、離子注入,;以及鍍膜設(shè)備,、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置,、混氣配氣系統(tǒng),、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

黑龍江差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)5910DD4產(chǎn)品參數(shù):

量程范圍

0.2~5kg/h

測控范圍

流量計(jì)量程比100:1     控制器量程比50:1

準(zhǔn)確度(滿量程)

氣體:±0.5.0%F.S,、液體±0.25.0%F.S

穩(wěn)定性

±0.1%F.S

重復(fù)精度

±0.05%F.S

響應(yīng)時(shí)間

<0.2s

數(shù)字量

RS232/485,,MODBUS協(xié)議

模擬量

0~5V、4-20mA,、1~5V

供電

±15VDC,,24VDC

工作溫度

0~70℃

壓力等級

100bar

最大耐壓

3MPa/10MPa




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