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掌握氣體質(zhì)量流量控制器的使用要求

閱讀：1599 發(fā)布時間：2023-9-20

氣體質(zhì)量流量控制器的工作原理是當(dāng)氣體流過感應(yīng)管時，會使用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法的原理來測量氣體的質(zhì)量流量,。

使用要求：

1.氣體質(zhì)量流量控制器所在氣路氣源要安裝減壓閥對整體氣路進(jìn)行減壓處理,。氣體質(zhì)量流量控制器壓力過小可能造成氣源不足，導(dǎo)致實際流量到達(dá)不了設(shè)定值流量,；壓力如果過大,，會使氣體質(zhì)量流量控制器的層流傳感器處于過載狀態(tài)，有可能造成傳感器精度損失或者造成傳感器損壞,。

2.氣體質(zhì)量流量控制器前端要配置截止閥,、過濾器、干燥器等配件,，其中截止閥可有效阻斷氣源對氣體質(zhì)量流量控制器的壓力沖擊,，對氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部的層流傳感器起到保護(hù)作用；過濾器,、煩躁器可確保進(jìn)入氣體質(zhì)量流量控制器的氣體是純凈,、干燥的氣體，如果氣源雜質(zhì),、水汽含量較大,，會形成結(jié)垢物質(zhì)，堵塞流道,，從而導(dǎo)致層流傳感損壞或者精度出現(xiàn)較大偏差,。

3.氣體質(zhì)量流量控制器后端要配置單向閥或隔膜閥以防止后端氣體壓力過大，氣體回流到氣體質(zhì)量流量控制器中,。在單向閥和隔膜閥后端配置截止閥,，防止氣體質(zhì)量流量控制器閥門關(guān)不嚴(yán)或在使用的過程中突然出現(xiàn)問題導(dǎo)致氣體質(zhì)量流量控制器閥門不受控制。

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