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GRYLLS格里爾斯差壓式質(zhì)量流量計/控制器，大量程 2000SLM,，混合氣體介質(zhì) 85%C02二氧化碳+15%N2氮氣,，多氣體系數(shù)切換,，長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準確度1.0%,，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設定,，無需標定，可以同時顯示和輸出：瞬時 流量,、累計流量、壓力,、溫度等,。

0.5sccm-6000 slm 全量程

差壓式質(zhì)量流量計采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質(zhì)量測量原理,，無熱漂移,，可以忽略的溫移和時漂，長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年,，準確度1.0%,，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設定，無需標定,，可以同時顯示和輸出：瞬時 流量,、累計流量、壓力,、溫度等,。