質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體,包括腐蝕性氣體和特殊氣體,但是要注意，對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體,，需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料,。用戶在訂貨時(shí)，需要.向供貨廠商特殊聲明使用氣體,，以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤,，造成嚴(yán)重?fù)p失。
氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼,、聚四氟乙烯和密封材料等,，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料-般為不銹鋼,、金或鎳等耐腐蝕材料,。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體,。對(duì)于三溴化硼,、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物'(體建議最好采用金屬密封的MFC,。
由于金屬密封的MFC價(jià)格較高,通常要求不高的場(chǎng)合,均采用橡膠密封的MFC,。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封，可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體,例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體,。其它一-些特殊腐 蝕性氣體,，需要采用特種橡膠。氨氣一需要采用耐氨橡膠,， 如乙丙橡膠,、氣丁橡膠或丁晴橡膠;有機(jī)溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)一需要采用硅橡膠; 三溴化砌,、三氧化硼,、氟化氫等_需 要采用全氟橡膠。
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