氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)主要是熱式工作原理,、差壓式工作原理和科里奧利工作原理,，其中熱式原理的氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制,，所以氣體質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用在工業(yè)中比較廣泛,，作為一個相對精密的儀器，想要儀器有一個相對長久的使用壽命,，就離不開我們在使用過程中做好維護,，而且也要做好記錄。
氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)使用一段時間后需定期的對氣體質(zhì)量流量控制器拆開進行內(nèi)部的氣路進行清理,，在檢查是否有受損的零件,；檢查氣體質(zhì)量流量控制器的管道剛性是否是缺乏的狀態(tài)，避免作業(yè)時出現(xiàn)振蕩現(xiàn)象,；氣體質(zhì)量流量控制器里外的污染清理,，避免密封面的損壞；質(zhì)量流量控制器的壓力,、流量等在所能測試的范圍：各類質(zhì)量流量控制器都有其固定的檢測壓力,、流量范圍，在其測定范圍內(nèi)完成測量,，才能保證質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確地進行測定,。
氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)的校準(zhǔn)和檢測與同其它的分析檢測儀器一樣，都是用相對比較的方法進行測定的。因此,，對氣體質(zhì)量流量控制器進行校零,，經(jīng)常性對儀器進行校準(zhǔn)都是保證儀器測量準(zhǔn)確的的工作,。綜上所述,，我們在使用氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)時，需要精心的維護,，一旦發(fā)生儀器故障時可以及時查找到其原因,。而且我們要注意的時，一旦儀器發(fā)生了故障,，那么我們盡量找到原廠的氣體質(zhì)量流量控制器廠家進行維修減少損失,。
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