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貨物所在地:上海上海市
所在地: 日本
更新時間:2024-12-01 21:00:07
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基恩士 形狀測量激光顯微系統(tǒng) VK-X3000系列
產(chǎn)品外觀
采用了三重掃描方式,,運用激光共聚焦,、白光干涉,、聚焦變化等三種不同的掃描原理,高倍率和低倍率,,平面,、凹凸表面的細微粗糙度,
以及鏡面體,,透明體等,。VK擁有應對多種樣品的測量能力(從 1 nm 到 50 mm),納米/微米/毫米一臺完成測量,。
1,、Basic Characteristics
觀察
從光學顯微鏡到SEM領(lǐng)域一臺設(shè)備涵蓋
42 至 28800 倍
無需對焦
適用于多種樣品
測量
非接觸瞬間掃描形狀
不會損傷目標物
納米級別也可準確測量
透明體和坡度大的目標物也可測量
分析
希望了解的表面“差異"一目了然
定量化微小形狀
輕松比較多個樣品
粗糙度分析
2、三重掃描方式解決“難以測量"的難題
可根據(jù)樣品工件的材料,、形狀和測量范圍,,選擇激光共聚焦、白光干涉,、聚焦變化等三種不同的掃描原理,,進行高精度測量。
3,、納米級分辨率
即使是納米級的微小形狀變化也能準確測量,。
此外,如鏡面體,、透明體等測量難度高的材料也能實現(xiàn)高速,、高精度、大范圍的測量,。
4,、連高度差較大的凹凸處和大范圍區(qū)域也能測量
掃描區(qū)域50 mm見方。
凹凸不平或手掌大小的物體也能整體掃描,。
只需一臺設(shè)備,,即可同時掌握整體形狀和局部形狀。
5,、精確測量高倍率和低倍率,。平面和凹凸面,。
適用于各種目標物的測量能力
測量案例
Si 晶片背面 │ 3000 倍
表面粗糙度測量
MEMS │ 2 mm × 2 mm
提供:Matthieu Denoual 博士(GREYC/CNRS, ENSI de Caen,France)與東京大學研究生院三田吉郎研究室
相機卡口部端子 │ 30 mm × 12 mm
端子的形狀測量
基恩士 形狀測量激光顯微系統(tǒng) VK-X3000系列
除上述應用外,,在其他行業(yè)也應用廣泛。
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