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擁有先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備和不斷發(fā)展的機(jī)床精度的規(guī)模總是要求客戶提高性能,。 我們根據(jù)半導(dǎo)體路線圖,、市場(chǎng)趨勢(shì)和客戶需求,,制定超精密規(guī)模路線圖,,并致力于研發(fā),。 開發(fā)新設(shè)備和皮科米分辨率刻度時(shí),,還必須開發(fā)一個(gè)系統(tǒng)來評(píng)估它,。
此外,,設(shè)計(jì)和開發(fā)方法也必須不斷發(fā)展。 物理,、化學(xué),、電氣、機(jī)械和軟件工程師正在共同努力,,提高磁階和激光秤的性能,。 我們的目標(biāo)是保持我們的基本技術(shù)能力,并成為一個(gè)團(tuán)隊(duì),,能夠快速,、靈活地開發(fā)和商業(yè)化滿足客戶需求的產(chǎn)品。 此外,,我們開發(fā)具有可靠可靠性的產(chǎn)品,,不會(huì)辜負(fù)客戶的信任。
機(jī)械設(shè)計(jì)
使用模態(tài)分析進(jìn)行
變形模擬
LSI布線的信號(hào)延遲驗(yàn)證
新的磁體刻度源自磁性應(yīng)用技術(shù),,是磁刻度上分辨率為 0.005 μm 的精密測(cè)量刻度,。 光學(xué)刻度檢測(cè)明暗晶格透射率的變化,而磁刻度通過磁頭檢測(cè)磁性介質(zhì)內(nèi)部記錄的磁晶格磁通量的變化,。 為了在磁尺度上獲得高分辨率,,良好的磁性介質(zhì)和低應(yīng)變頭至關(guān)重要。
在規(guī)模方面,,我們開發(fā)了高密度磁性介質(zhì),,具有耐環(huán)境性,可在各種環(huán)境下使用,,包括機(jī)床和工業(yè)機(jī)械,。 磁頭使用 HDD 中進(jìn)化的磁阻效應(yīng)元件,,通過*的模式設(shè)計(jì)將磁信號(hào)輸出為高靈敏度、極低失真的信號(hào),。 此外,,在磁刻度上成功實(shí)現(xiàn)了M碼磁信號(hào)檢測(cè)的化。 頭部的信號(hào)通過專有信號(hào)校正電路消除影響精度的 D C 信號(hào)分量以及正弦和余弦信號(hào)之間的相位差和振幅不平衡,,并與 M 代碼一起轉(zhuǎn)換為高分辨率,、高精度的位置。
新的磁階適用于各種環(huán)境(如冷凝和油)的機(jī)床,,這是光學(xué)讀取明暗晶格時(shí)無法實(shí)現(xiàn)的,。 此外,磁垢是與鑄鐵具有相同線性膨脹系數(shù)的刻度,,鑄鐵是機(jī)器的結(jié)構(gòu)。 因此,,即使在發(fā)生溫度變化的環(huán)境中,,也能在與機(jī)器相同的溫度特性下進(jìn)行拉伸,從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定,、高精度的加工,。
磁垢將進(jìn)一步追求高精度和耐環(huán)境性能。
磁刻度記錄圖像
長精度測(cè)量設(shè)備
Magnescale原SONY工業(yè)測(cè)量產(chǎn)品變更通知
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