隨著市場對某些標準氣體的組分含量要求越來越低,,這是基于中國某些高純氣體尤其是空分氣體的純度不斷提高,。空分產(chǎn)品中N2、O2,、Ar的純度有的已經(jīng)達到99.9999%,國家標準也因為生產(chǎn),、使用單位的水平提高而不斷提升,,按照標準中規(guī)定的檢測指標,進行檢測需要各種高質(zhì)量的標準氣體,。
隨著我國半導體,、光電技術的飛速發(fā)展,研發(fā)提純凈化水平高,、耐高壓,、使用方便、投資少,、易推廣的目標,,對N2、H2,、He,、Ar、O2,、NO氣體配制用高壓提純技術及裝置尤為重要,。
一、氮氣提純技術
采用高效的脫氧催化劑,,利用脫氧催化劑的氧化還原特點,,脫除N2中的痕量O2,脫氧在室溫下進行,,催化劑失活后通氫還原,,還原溫度為350-450℃,其特點是有一定的水蒸汽排出,。然后用大量的N2吹洗或抽空與通氮相結合的方式將H2吹凈,。
二、氫氣,、氦氣提純技術
提純裝置內(nèi)充裝兩種耐低溫的多孔吸附劑,,經(jīng)過良好的換熱設計,在低溫條件下吸附,,可有效將H2,、He中的雜質(zhì)除去,其純度可達99.9999%,,由于條件十分的苛刻,,操作者一定要經(jīng)過嚴格的培訓指導,否則極易發(fā)生安全事故。由于該方法可有效除去H2中的N2,、CO,、CH4等,也可以推廣為規(guī)?;疕2提純方式,,此類低溫法是高純H2生產(chǎn)的重要方法之一。
三,、一氧化碳提純技術
一氧化碳為底氣的標準氣體,,市場需求盡管不大,但用戶必需,,該標氣要求CO2,、O2成分的含量較低,采用高純CO配制從理論講是可以的,,但高純CO的價格較高,,同時高純CO有時其中的CO2、O2含量也滿足不了要求,,為此,,必須利用現(xiàn)有條件,在氣體的超純提純上下工夫,,通過完備的分析設備和分析技術,,可以成功解決這一問題,根據(jù)標準氣體的制造特點,,采用脫氧和脫水在同一裝置內(nèi)內(nèi)同時實現(xiàn),,設備工作壓力15MPa,所用的催化劑為3種不同活性的復合型脫氧劑,,其中的一種抗中毒容量大,,測試效果十分明顯,從中也獲得CO脫O2,、CO2技術,,為電子級CO的生產(chǎn)提供了技術拓展基礎。
四,、氬氣提純技術
高純氬氣的分析檢測,,需要標準氣體。根據(jù)GB/T10642高純氬氣國家標準,,高純氬氣分為3個等級,,其控制成分要求較地低,通常大空分分餾出來的液態(tài)Ar質(zhì)量很好,。氬氣的凈化除采用精餾的方法外,,對充瓶后的氬多采用終端提純的手段,,吸氣劑可以同氬氣中的幾乎所有的雜質(zhì)反應,反應的程度取決于雜質(zhì)的種類及反應溫度,,N2是比較難除的雜質(zhì),,其它如O2、CO2,、H2O雜質(zhì)可通過其它的常規(guī)方法除凈,,為了節(jié)省價格不菲的吸氣劑,在提純設備流程設計時,,應考慮氣體的初級凈化,由于吸氣劑的激化溫度高達500℃以上,,又是在高壓下工作,,所以所用設備的安全問題,是必須要高度的重視,,吸氣劑由于參加了化學反應,,在使用時不斷的消耗,其吸氣能力隨著床層的降低而不斷下降,,當發(fā)現(xiàn)Ar的純度下降,,應考慮是否需要更換吸氣劑。在Ar提純時可采用國產(chǎn)的吸氣劑,,成本可降低較多,。
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