元素空心陰極燈是一種特殊形式的低壓輝光放電光源，放電集中于陰極空腔內(nèi),。當(dāng)在兩極之間施加幾百伏電壓時(shí),，便產(chǎn)生輝光放電。在電場(chǎng)作用下,，電子在飛向陽極的途中，與載氣原子碰撞并使之電離,，放出二次電子,，使電子與正離子數(shù)目增加,，以維持放電。正離子從電場(chǎng)獲得動(dòng)能,。如果正離子的動(dòng)能足以克服金屬陰極表面的 晶格能,，當(dāng)其撞擊在陰極表面時(shí)，就可以將原子從晶格中 濺射出來,。除濺射作用之外,，陰極受熱也要導(dǎo)致陰極表面元素的熱蒸發(fā)。濺射與蒸發(fā)出來的原子進(jìn)入空腔內(nèi),，再與電子,、原子、離子等發(fā)生第二類碰撞而受到激發(fā),，發(fā)射出相應(yīng)元素的特征的 共振輻射,。

       具有壽命長、自動(dòng)化,、易安裝,、測(cè)試嚴(yán)、質(zhì)量高,、檢出限低,、選擇多等多優(yōu)良特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)。在正常工作條件下,，空心陰極燈是一種實(shí)用的銳線光源,。空心陰極燈發(fā)射的光譜主要是陰極元素的光譜，因此用不同的被測(cè)元素作陰極材料,，可制成各種被測(cè)元素的空心陰極燈,。