產(chǎn)品簡介
詳細介紹
OTL1200單溫區(qū)CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng),,最高溫度可以達到1200度,、1400度、1600度,、1700度,,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū),、三溫區(qū)等,,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計,,混氣路數(shù)可以是2路,、3路、4路,、5路相混合,。 是由3路供氣系統(tǒng)+OTL1200雙管式爐+真空系統(tǒng)組成。
OTL1200單溫區(qū)CVD系統(tǒng)以進口電阻絲瑞典(Canthal)為加熱元件,,采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表,,能進行40段程序控溫,移相觸發(fā),、可控硅控制,,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡,、表面溫度低,、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,,是高校,、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結,、氣氛還原,、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品,。
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2),、表面為不銹鋼色(非常亮,、客戶識別時要注意)、不會生銹,,使用時間再長都不會掉渣,。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲
(5),、電阻均衡,、溫場均衡性好
當電路過流或漏電時,空開會自動斷開,。
該爐配有通訊接口和軟件,,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調出
1,、真空吸濾成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,。
2、采用日本技術成型,。
3,、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4,、采用4周加熱,,溫場更加均衡